デンソーテクニカルレビューVol.5 No.1
巻頭言
“マイクロマシン技術開発の新たなる飛躍に向けて”(PDF:95KB)
取締役会長/(財)マイクロマシンセンター理事長 石丸典生
特別寄稿
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“マイクロマシン応用の発展に向けて”(PDF:882KB) |
東京大学生産技術研究所教授 藤田博之 |
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特集「マイクロマシン」
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基調論文 “マイクロマシン研究の現状と今後”(PDF:1.4MB) |
原 邦彦 |
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ワイヤレス管内マイクロマシンの開発(PDF:977KB) |
川原伸章 |
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マイクロ波エネルギー伝送を用いた自律移動可能なマイクロロボット(PDF:441KB) |
柴田貴行 / 笹谷卓也 / 川原伸章 |
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可変焦点レンズを用いたデジタル全焦点顕微システム(PDF:1.9MB) |
金子 卓 / 光本直樹 / 川原伸章 |
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水素結合を用いたアルミニウムとシリコンの直接接合(PDF:882KB) |
永久保雅夫 / 鈴木晴視 / 服部 正 |
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ポリシリコンで埋込電極を形成したSOI構造を用いた高アスペクト比単結晶 マイクロ構造体の容量式加速度センサ(PDF:2.4MB) |
山本敏雅 / 加藤信之 / 松井正樹 / 竹内幸裕 / 大塚義則 / 秋田成行 |
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二重側壁保護膜を用いた新しいディープRIE技術の開発(PDF:2.4MB) |
大原淳士 / 加納一彦 / 竹内幸裕 / 大矢信之 / 大塚義則 / 秋田成行 |
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ブリッジ型マイクロヒータの放熱分析(PDF:347KB) |
和戸弘幸 / 山本敏雅 / 竹内幸裕 / 大塚義則 / 秋田成行 |
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Ppbオーダの不純物量を制御したシリコン異方性エッチング(PDF:599KB) |
田中 浩 / 阿部吉次 / 米山孝夫 / 井上和之 |
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無電解Ni-Pメッキを利用した容量結合型静電スイッチの作製(PDF:1.2MB) |
犬塚 肇 / 筈見浩史 / 松ケ谷和沖 / 永草誠治 |
論文
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高性能長寿命イリジウムプラグの開発(PDF:819KB) |
長村弘法 / 阿部信男 |
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ガソリン直噴システム用新インジェクタの開発(PDF:1.1MB) |
上田信司 / 森 幸雄 / 岩成栄二 / 小熊義智 / 箕浦陽介 |
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InAlAs/歪InGaAs HEMT - 変調ドープ層の超格子化によるキャリア濃度低下抑制 - (PDF:756KB) |
小原輝昭 / 星野浩一 / 田口隆志 |
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アセチレンを用いた真空浸炭法(PDF:1.1MB) |
奥村 望 / 岩瀬厚司 |
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TSS液晶の時分割表示方式立体ディスプレイへの応用(PDF:252KB) |
豊田章人 / 山本典生 |
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自然な観察を目指した3次元動画像表示(PDF:914KB) |
深谷直樹 / 小倉久忠 / 阿部真也 / 本田捷夫 |
